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儀器型號 |
YRVMS-3020CNC |
YRVMS-4030CNC |
YRVMS-5030CNC | |
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工 |
金屬臺面尺寸(mm) |
506×356 |
606×466 |
700×450 |
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玻璃臺面尺寸(mm) |
350×280 |
450×350 |
550×350 | |
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運動行程(mm) |
300×200 |
400×300 |
500×300 | |
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儀器重量(kg) |
140 |
240 |
290 | |
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外形尺寸 (mm) |
770×590×1100 |
950×700×1100 |
970×670×940 | |
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鏡頭 |
日本SONY CCD | |||
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X、Y、Z數顯解析度 |
1μm | |||
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X、Y坐標示值誤差 |
≤(3+L/200)μm | |||
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鏡頭 |
日本SONY CCD | |||
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電機 |
伺服電機：日本 | |||
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三軸運動速度： | ||||
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三軸定位： | ||||
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電源 |
AC110V/220V | |||
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消耗功率 |
<100W（不包括電腦） | |||
上海研潤光機科技有限公司-北京分公司
免企業未認證證營業執照未上傳
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