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能力 | 數值 | |
X, Y方向運動距離， | +/-6mm； | |
Z方向 | +/-0.5微米 | |
Theta; | +/-3°；0.001° | |
光罩旋轉 | +/-15° | |
控制方式 | 軟件控制，多種工藝參數可自行設定 | |
卡盤移動控制 | 電子桿 | |
光刻模式 | 靠近、軟接、硬接和真空接觸 | |
預對準能力 | X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5° | |
精對準能力 | 小于1微米 | |
光罩尺寸 | 14”×14” | |
適用的樣品尺寸 | 50 ～ 300mm | |
光源選擇 | 近紫外，中紫外和深紫外 |
哈爾濱特博科技有限公司
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