基本參數 | XCU-5040 | XCU-7060 | XCU-1210 | XCU-1512 |
| 測量范圍 | 500x400x200mm | 700x600x200mm | 1200x1000x200mm | 1500x1200x200mm |
| 整機尺寸 | 1300X1800X1407mm | 1500X2000X1407mm | 1900X2500X1407mm | 2100X2800X1407mm |
| 整機重量 | 2000Kg | 2500Kg | 3500Kg | 4500Kg |
| XYZ導軌 | 高線性滑軌 | 高線性滑軌 | 高線性滑軌 | 高線性滑軌 |
| 基座材質 | 花崗巖 | 花崗巖 | 花崗巖 | 花崗巖 |
| 技術參數 | ||||
| XY | E2 = (3.0+L/250) µm | E2 = (3.5+L/250) µm | E2 = (4.0+L/250) µm | E2 = (4.5+L/250) µm |
| Z | E1 = (3.0+L/150) µm | E1 = (3.0+L/150) µm | E1 = (3.0+L/150) µm | E1 = (3.0+L/150) µm |
| XY重復性 | ≤3.0 µm | ≤3.0 µm | ≤4.0 µm | ≤4.0 µm |
| Z重復性 | ≤3.0 µm | ≤3.0 µm | ≤3.0 µm | ≤3.0 µm |
| XY加速度 | 1400 mm/s² | 1400 mm/s² | 1400 mm/s² | 1400 mm/s² |
| Z加速度 | 500 mm/s² | 500 mm/s² | 500 mm/s² | 500 mm/s² |
| XY速度 | 700 mm/s | 700 mm/s | 700 mm/s | 700 mm/s |
| Z速度 | 100 mm/s | 100 mm/s | 100 mm/s | 100 mm/s |
| 光學尺分辨率 | 1.0 µm, 0.5 µm | 1.0 µm, 0.5 µm | 1.0 µm, 0.5 µm | 1.0 µm, 0.5 µm |
| 基本配置 | ||||
| CCD | 高清晰CCD | 高清晰CCD | 高清晰CCD | 高清晰CCD |
| 輪廓燈 | 白色（紅，黃，藍三基色可選） | 白色（紅，黃，藍三基色可選） | 白色（紅，黃，藍三基色可選） | 白色（紅，黃，藍三基色可選） |
| 表面燈 | 40相燈，分區塊控制 | 40相燈，分區塊控制 | 40相燈，分區塊控制 | 40相燈，分區塊控制 |
| 同軸光 | 選配 | 選配 | 選配 | 選配 |
| 鏡頭 | 全自動navitar變焦鏡頭6.5:1 | 全自動navitar變焦鏡頭6.5:1 | 全自動navitar變焦鏡頭6.5:1 | 全自動navitar變焦鏡頭6.5:1 |
| 軟件配置 | OVM Pro 2.0 | OVM Pro 2.0 | OVM Pro 2.0 | OVM Pro 2.0 |
| 運動控制 | 鼠標，搖桿 | 鼠標，搖桿 | 鼠標，搖桿 | 鼠標，搖桿 |
| 保質期 | 1年 | 1年 | 1年 | 1年 |
| 環境要求 | ||||
| 基本要求 | 溫度20º C +/-2º,濕度30-80% | 溫度20º C +/-2º,濕度30-80% | 溫度20º C +/-2º,濕度30-80% | 溫度20º C +/-2º,濕度30-80% |
| 供電電源 | AC220V, 50 Hz, 10A | AC220V, 50 Hz, 10A | AC220V, 50 Hz, 10A | AC220V, 50 Hz, 10A |
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