特點(diǎn)
- 大幅度了驅(qū)動速度（X軸：80mm/s Z2軸：20mm/s），近一步降低了總測量時間。
- 為了在時段內(nèi)維持儀器的直線度規(guī)格，三豐公司才用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。
- 大量的外圍設(shè)備支持CNC模式，從而可以很容易實現(xiàn)CNC測量。
- 驅(qū)動裝置（X軸）和立拄（Z2軸）中集成了高光柵尺（Z2軸為ABS型），從而了在垂直方向持續(xù)自動測量小孔和不易定位工件的重復(fù)。
- X軸：&plun;（0.8+0.01L）μm Z1軸：&plun;（0.8+|0.5H|/25）μm *（CV-4100S4、H4、W4），針對高工件的測量所設(shè)計。 L為驅(qū)動長度 H為測量高度
- CV-4100系列的驅(qū)動裝置集成了Laser Hologage檢位器，在Z軸（垂直方向）的窄/寬測量范圍內(nèi)，提供卓越的和分辨率。
技術(shù)參數(shù)
| X軸 | |
| 測量范圍 | 100mm |
| 分辨率 | 0.05um |
| 檢測方法 | 反射型線性編碼器 |
| 驅(qū)動速度 | 80mm/s和手動 |
| 測量速度 | 0.02-5mm/s |
| 移動方向 | 向前/向后 |
| 直線度 | 0.8um/100mm,2um/200mm*當(dāng)X軸在水平方向上 |
| 指示(20°C時) | &plun; (1+0.01L)um*L為驅(qū)動長度(mm) |
| 傾斜范圍 | &plun;45° |
| Z2軸（立柱） | |
| 垂直行程 | 300mm |
| 分辨率 | 1um |
| 檢測方法 | ABSOLUTE線性編碼器 |
| 驅(qū)動速度 | 0-20mm/s和手動 |
| Z1軸(檢測器) | |
| 測量范圍 | &plun;25mm |
| 分辨率 | 0.2um |
| 檢測方法 | 線性編碼器 |
| 指示(20°C時) | &plun; (2+|4H|/100)um*H為水平位置上的測量高度(mm) |
| 測針上/下運(yùn)作 | 弧形運(yùn)動 |
| 測針方向 | 向上/向下 |
| 測力 | 30mN |
| 跟蹤角度 | 向上：77°、向下：87°(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針) |
| 測針針尖 | 半徑：25um、硬質(zhì)合金針尖 |
| 電源 | 100-240VAC&plun;10%,50/60Hz |
