Formtracer
表面粗糙度、輪廓形狀一體機
Formtracer Extreme (表面粗糙度/輪廓測量裝置)
SV-C3000CNC / SV-C4000CNC
525系列 — 表面粗糙度/形狀測量儀

特點
? 高CNC表面粗糙度／形狀測量儀，
一機二用：可進行表面粗糙度和形狀／輪
廓測量。
? 每軸驅動速度可達200mm/秒，實現
定位，滿足多輪廓／多工件的測量
任務。
? 帶 a 軸的機型可通過電動傾斜檢出器，
對水平和傾斜表面進行連續測量。
? 帶Y軸工作臺的機型可通過Y軸軸向定
位，擴大測量任務的范圍，如多工件任
務等。
? SV-C4000CNC系列的輪廓驅動器配備激
光全息光柵尺，可寬／窄范圍測量
和 Z1軸分辨率。
? 通過同時控制X1軸和Z2軸的方向，可
實現傾斜平面的測量。
? 通過簡單的性操作，可更換形狀／輪
廓測量裝置與表面粗糙度測量裝置，并
且，不對連接電纜重新布線。
? 由于Z1軸檢出器內置了撞器，當檢出
器主體即將碰撞工件或夾具時，檢出器
將自動停機。
? 配有易于操作的遙控箱 ：通過兩個操縱
桿，選定需要操作的軸，即可實現任何
移動。鍵上端的軸向圖標易于辨認，輕
松操作。
? 通過U與數據處理／分析器通信。

基本技術參數:
基座尺寸 (W x D):
750 x 600mm
基座材料:
花崗巖
重量:
240kg, 250kg (高立柱型)
電源:
100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗:
500W (主機)
輪廓測量技術參數:
X1軸
測量范圍:
200mm
分辨率:
0.05μm
檢測方法:
反射型線性編碼器
驅動速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
測量速度:
0.02 - 2mm/s
移動方向:
向前／向后
直線度:
2μm/200mm
*以X1軸為水平方向上
指示 (20oC時):
±(1+4/200)μm(SV-C3000CNC)
±(0.8+4L/200)μm(SV-C3000CNC)
傾角:
-45o - +10o
分辨率:
0.000225o
旋轉速度:
1rpm
Z2軸 (立柱)
垂直移動:
300mm 或 500mm
分辨率:
0.05μm
檢測方法:
反射型線性編碼器
驅動速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
Z1軸 (檢出器)
測量范圍:
±25mm
分辨率:
0.2μm (SV-C3000CNC),
0.05μm (SV-C4000CNC)
檢測方法:
線性編碼器 (SV-C3000CNC),
激光全息測微計 (SV-C4000CNC)
直線位移:
±(2+|4H|/100)μm(SV-C3000CNC)
(20oC時)
± (0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4000CNC)
*H: 為基于水平位置的測量高度 (mm)
測針運作:
弧形移動
測針方向:
向下
測力:
30mN
跟蹤角度:
向上: 70o, 向下: 70o
(使用配置的標準測頭， 依表面粗
糙度而定)
測針針尖
半徑: 25μm, 硬質合金
表面粗糙度測量的技術參數:
X1軸
測量范圍:
200mm
分辨率:
0.05μm
檢測方法:
反射型線性編碼器
驅動速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
測量速度:
0.02 - 2mm/s
直線度:
0.5μm / 200mm
a 軸
傾角:
-45o - +10o
分辨率:
0.000225o
旋轉速度:
1rpm
Z2軸 (立柱)
垂直移動:
300mm 或 500mm
分辨率:
0.05μm
檢測方法:
反射型線性編碼器
驅動速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
檢出器 (選件)
范圍／分辨率:
800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用測針選件時，
可達2400μm)
測力:
4mN 或 0.75mN (低測力型)
測針針尖:
金剛石, 90o / 5μmR
(60o / 2μmR: 低測力型)
檢測方法:
差動電感式