能量色散X射線熒光光譜儀主要由激發、色散、探測、記錄及數據處理等單元組成。

激發單元的作用是產生初級X射線。它由高壓發生器和X光管組成。后者功率較大，用水和油同時冷卻。色散單元的作用是分出想要波長的X射線。它由樣品室、狹縫、測角儀、分析晶體等部分組成。 能量色散X射線熒光光譜儀技術原理能量色散X射線熒光光譜儀是一種波長較短的電磁輻射，凡間是指能t局限在0.1^-100keV的光子。

能量色散X射線熒光光譜儀與物質的互相效果首要有熒光、接收和散射三種。能量色散X射線熒光光譜儀是由物質中的構成元素發生的特征輻射，經過側里和剖析樣品發生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家構成，獲得物質成分的定性和定量信息。能量色散X射線的發生與特征當用高能電子束照耀樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負的加快度會發生寬帶的延續X射線譜，簡稱為延續潛或韌致輻射。 

另一方面，化學元素遭到高能光子或粒子的照耀，如內層電子被激起，則當外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。能量色散X射線是一種別離的不延續譜.假如激起光源為x射線，則受激發生的x射線稱為二次X射線或X射線熒光。特征X射線顯示了特征能量色散X射線熒光光譜儀發生的進程。當人射x射線撞擊原子中的電子時，如光子能量大于原子中的電子約束能，電子就會被擊出。這一互相效果進程被稱為光電效應，被打出的電子稱為光電子。經過研討光電子或光電效應可以取得關于原子構造和成鍵形態的信息。

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