ICSPI通過(guò)整合機(jī)電一體化系統(tǒng),將傳統(tǒng)AFM集成到 一個(gè)CMOS芯片上,設(shè)計(jì)生產(chǎn)出世界款單芯片動(dòng)態(tài) 原子力顯微鏡(Single-Chip Dynamic Atomic Force Microscope)nGauge:更小、更快、更強(qiáng)!nGauge集成化原子力顯微鏡大,操作簡(jiǎn)便, 環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng);具有卓越的振動(dòng)免疫性,更少的漂 移,。
產(chǎn)品概述和特點(diǎn)
?集成熱壓阻共振懸臂梁,可變換,成像時(shí)間 少于1分鐘(無(wú)需激光對(duì)準(zhǔn));
?熱距離傳感器可在數(shù)秒內(nèi)自動(dòng)化完成針尖靠近;
?熱電MEMS驅(qū)動(dòng)器高精移動(dòng)懸臂針尖,具有低漂 移,適應(yīng)長(zhǎng)時(shí)成像實(shí)驗(yàn);
?系統(tǒng)高度集成小巧,具有強(qiáng)的振動(dòng)免疫性,可 在任意平面上直接測(cè)量,無(wú)需隔震;
?氧化鋁針尖具有長(zhǎng)使用壽命,可連續(xù)成像過(guò) 10000張。
nGauge應(yīng)用方向

技術(shù)參數(shù)
nGuage AFM參數(shù)
掃描范圍(XYZ) | <=15umx15umx10um |
XY掃描分辨率 | <0.5nm |
XYZ驅(qū)動(dòng)方式 | 電熱法 |
傳感器 | 壓阻 |
動(dòng)態(tài)RMS噪聲 | <1nm |
成像模式 | 間斷接觸,動(dòng)態(tài)AFM |
掃描速度 | >8lines/s |
硬件參數(shù)
系統(tǒng)尺寸 | 70mmx90mmx75mm |
載物臺(tái)尺寸(XY) | 70mmx43mm |
Z軸行程 | 20mm |
驅(qū)動(dòng)方式 | 步進(jìn)電機(jī) |
系統(tǒng)重量 | 450g |
隔震裝置 | 無(wú)需額外隔震裝置 |









