日本日立FT9500X型X射線熒光鍍層厚度測量儀
日立（EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L）FT9500系列產品,搭載了X射線管，實現了高的測定。FT110A微小準直管和可變焦距光學系統的組合，實現了對微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。
1．FT9500X搭載了50WX射線管。
2．FT9500X搭載毛細聚焦導管。
3．容易對微小領域進行觀察，FT9500X搭載了能4階段切換的可變焦距光學系統。
4．依據照明能很容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。
5．FT9500X搭載了有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
6．搭載了焦點切換功能，FT9500X能夠對有高度的樣品的低部分進行測定。
7．FT9500X利用伺服馬達的驅動平臺。
7．FT9500X運用激光聚焦功能簡單實現位置的調整。
