FX型系列分子泵機組是分子泵,前級機械泵，隔斷放氣閥，前級管路、分子泵電源，控制電源等組裝于機架而成的清潔超高真空獲得設備。安裝方便，操作簡單，易于聯接，性能可靠，可廣泛用于表面分析，加速器技術，半導體設備，等離子體技術，電真空器件的制造及真空技術各領域。

FX分子泵機組技術性能:

產品型號       FX-110   FX-620

進氣口法蘭    DN100LF/DN100CF     DN160LF/DN160CF

抽氣速率L/S（對空氣）     ＞110      ＞600

壓縮比??? N2

????????? H2   ＞108

5×102    ＞109

6×103

極限壓強（Pa）    6×10-6/6×10-7    6×10-6/6×10-7

排氣口法蘭    KF25      KF40

使用軸承       精密機械軸承       精密軸承

輸入電壓頻率（V/Hz）       220±20/50    380±20/50

環境溫度（℃）    0～40     0～40

前級泵型號    TRP-4     TRP-6

啟動時間（min）  ＜3  ＜5

額定工作轉數（rpm） 42，300  27，000

冷卻方式       水冷可風冷    水冷

安裝方式       任意       任意

重量（公斤）       52    -

長×寬×高    500×510×685     -

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