光電輪廓儀WGL的詳細(xì)信息
- 測量范圍：——(m)
- 重量：(kg)
- 外形尺寸：**(mm)
儀器由倒置式改為正置式，更符合人們的操作習(xí)慣；
應(yīng)用CMOS代替CCD，省去圖象卡并提高了質(zhì)量；
用低壓電源代替高壓電源，節(jié)省了儀器成本；
用國產(chǎn)的代替德國進(jìn)口壓電陶瓷，解決了關(guān)鍵部件的進(jìn)口難題；
增加了自動(dòng)步距和亮度校正程序，同時(shí)增加了局部放大三維立體圖功能；
表面微觀不平深度測量范圍：130?1nm
測量的重復(fù)性：sRa≤0.5nm
測量：8nm
物鏡倍率：40X
數(shù)值孔徑：0.65
儀器視場 目視：f0.25mm
攝象：0.13X0.13mm
儀器放大倍數(shù) 目視：500X
攝象（計(jì)算機(jī)屏幕觀察）：2500X
接收器測量列陣：1000X1000
象素尺寸：5.2X5.2nm