NEXIV VMR-H3030系列
該設備具有高的以及多種多樣的功能，XYZ行程為300×300×150毫米，不可以用于各種精密模具、精密件的測量，還可以作為精密檢測室的主檢測設備使用。 8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組，可以在各段（倍率）間進行自由切換，以滿足低倍大視場觀察搜索和精密測量兩方面的需求。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有高的，加上其合理的布局以及堅固耐用的硬件設計，使 NEXIV VMR-H3030 的測量不確定度了亞，可以滿足精密模具的檢測需求。
1、2、3 型
，適于用作精密檢測室的主檢測設備；3個型號（1、2、3 型）各自有 5 級放大倍率，可滿足不同視場及倍率要求；有多種多樣的照明方式可供選擇，以模具邊界準確探測的需求；較長的工作距離（50毫米），可滿足測量對工件高度方向的空間需求；15倍的變焦比，可以滿足低倍大視場觀察搜索和精密測量兩方面的需求。與無級變焦機構相比，采用5段、定倍自動變焦機構可以使測量更加快速、準確。應用領域：精密檢測室的主檢測設備，模具及精密機械件測量。精密掩模板精密機械件模具
Z120X 型（帶頭）
具有的載物臺，與頭配合使用，能夠準確測量工件的細微部位（如精密掩膜及芯片凸點高度等關鍵尺寸）光學放大倍數可達120X，能夠測量微距線寬；、高的載物臺有助于對較大的物體尺寸，進行快速、準確地測量；可以分別測量刻線的上下寬度；激光自動掃描功能，可以用來測量芯片上的微小凸點高度以及錫球截面形狀等；可以對激光掃描所得的截面輪廓形狀進行評估。應用領域：各種芯片級封裝、芯片上的凸點高度、各種精密掩膜板等。精密掩模板倒裝芯片上的凸點芯片凸點形貌色標顯示Nikon 全自動影像量測系統
高全自動影像量測系統 VMR1515//VMR-3020/VMR-6555/VMR10080/VMR12072 |
【光源】 |
