- 產品品牌:
- JEOL日本電子
- 產品型號:
- IB-09010CP
- 類型:
- 電子顯微鏡
凝聚了日本電子公司科技人員多年的夢想與實踐
截面拋光儀 IB-09010CP
- 不管是用機械研磨法難以制備的樣品,還是軟硬材質混合的復合材料,都能夠制備出光滑的截面。
- 可以獲得平滑的鏡面拋光效果。與機械研磨法相比,使用截面拋光儀(CP)制備的樣品變形小、晶體結構不易破壞,因而適合于晶體取向分析(EBSD)的前處理。
- 能夠制備出寬度大約為1mm的大截面。
非常適合于鍍層及電子元件的失效分析。 - 采用觸控式面板,操作簡單。
截面拋光儀IB-09010CP的特點
- 彩色液晶觸控式面板操作:彩色液晶屏顯示加工條件,一目了然。通過觸摸屏即可設定加工條件。
- 標準配置的CCD相機,用于確定加工位置:屏幕畫面便于觀察,容易對準加工位置。
- 離子加速電壓 為8kV (選配):提高了研磨速度。標準的加速電壓為6kV。
SEM應用圖例
紙張截面
| 使用剃刀片等制作紙張截面時,紙纖維的損傷無法避免。從圖中可以看出,使用CP制備的截面損傷較小。 | |
| CP制備的截面(背散射電子圖像) |
C Kα (EDS) |
| Si Kα (EDS) |
Ca Kα (EDS) |
金線焊接
制備金等軟質材料的截面樣品時不會對其造成損傷,另外它還適合于對焊接結合部的焊點進行評估。采用傳統機械研磨法制備樣品會損壞焊點,研磨的磨料嵌入金內部甚至會引起界面層剝離,形成研磨損傷,而采用截面拋光儀(CP)制備截面樣品則能避免這類損傷。
| 背散射電子圖像 |
背散射電子圖像 |
主要技術規格
| 離子加速電壓 | 2~6kV |
|---|---|
| 離子束直徑 | 500μm(FWHM) |
| 研磨速度 | 100μm/H (2小時的平均值,加速電壓:6kV,硅換算, 邊緣距離:100μm) |
| 搭載樣品尺寸 | 11mm(寬)×10mm(長)×2mm(厚) |
| 樣品移動范圍 | X軸 ±10mm Y軸 ±10mm |
| 樣品旋轉角度調節范圍 | ±5º |
| 樣品加工擺角 | ±30º(申請中) |
| 操作方法 | 觸控式面板 |
| 使用氣體 | 氬氣(由質量流量控制器控制流量) |
| 壓力測試 | 潘寧真空計 |
| 主抽真空裝置 | 渦輪分子泵 |
| 輔抽真空裝置 | 機械泵 |
| 尺寸/重量 | 主機 545 mm(寬)×550 mm(長)×420 mm(高) 64kg |
| 機械泵 | 150 mm(寬)×427 mm(長)×230.5 mm(高) 16kg |
| 選配件 | 加速電壓8 kV 單元 旋轉樣品臺 高定位CCD相機 |
安裝條件
| 電源 | 單相100~120V±10%、50/60Hz、0.5~0.6kVA |
|---|---|
| 地線 | 獨立地線(100Ω以下) |
| 氬氣 | 使用圧力:
0.15±0.05MPa(1.0~2.0kg/cm²) 純度高于99.9999%(氬氣、氣瓶及調壓器由客戶自行準備。) 膠管接頭: JIS B0203 Rc 1/4 |
| 室溫 | 20~25℃(變動: 1℃/h以內) |
| 濕度 | 小于60% |







