| 空氣分子污染監(jiān)測系統(tǒng) | | | | 萊特浩斯污染反應(yīng)監(jiān)測器是個能提供區(qū)域環(huán)境空氣分子污染實(shí)時數(shù)據(jù)的儀器。鍍有銅
或銀石英晶體微量平衡傳感
器用于檢測大量的導(dǎo)致金屬污染反應(yīng)的腐蝕薄膜。對氣團(tuán)的增大的描述是基于被腐 蝕的用于測量波長埃里數(shù)的光掩膜。這種高的腐蝕檢測手段將設(shè)備的監(jiān)測提升到
了1ppb的級別。 | |
| | | | | | | | 操作規(guī)則 | 萊特浩斯污染反應(yīng)監(jiān)測器是個能提供區(qū)域環(huán)境空氣分子污染實(shí)時數(shù)據(jù)的儀器。鍍有銅或銀石英晶體微量平衡傳感
器用于檢測大量的導(dǎo)致金屬污染反應(yīng)的腐蝕薄膜。對氣團(tuán)的增大的描述是基于被腐蝕的用于測量波長埃里數(shù)的光掩
膜。這種高的腐蝕檢測手段將設(shè)備的監(jiān)測提升到了1ppb的級別。 空氣分子污染 一套的系統(tǒng)被發(fā)展成微環(huán)境下空氣光掩膜表面的空氣質(zhì)量的檢測。下表提供了空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的參考，其中各項參
數(shù)需要嚴(yán)格要求才能保證芯片制造的質(zhì)量，包括了對AMC的要求。 |
| 空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) | | 銅腐蝕 | 銀腐蝕 | 等級 | 空氣質(zhì)量級別 | 反應(yīng)率 | 等級 | 空氣質(zhì)量級別 | 反應(yīng)率 | C1
C2
C3
C4
C5 | 純凈
清潔
中度污染
污染較嚴(yán)重
嚴(yán)重 | <90?/30 days
<150?/30 days
<250?/30 days
<350?/30 days
>350?/30 days | S1
S2
S3
S4
S5 | 純凈
清潔
中度污染
污染較嚴(yán)重
嚴(yán)重 | <40?/30 days
<100?/30 days
<200?/30 days
<300?/30 days
>300?/30 days |
|
| 空氣質(zhì)量級別詳細(xì)說明 | 純凈：污染對裝配過程不構(gòu)成可測得的威脅。
清潔：污染可測到，但對裝配過程不構(gòu)成即時威脅
中度污染：超過以上標(biāo)準(zhǔn)的污染會輕度影響裝配過程
污染較嚴(yán)重： 超過以上標(biāo)準(zhǔn)會對裝配過程造成污染。
嚴(yán)重： 污染對裝配過程構(gòu)成即時威脅。 |
| 萊特浩斯污染反應(yīng)監(jiān)測器 | 萊特浩斯感應(yīng)監(jiān)測器的維護(hù)僅需替換傳感器 原因在于紅色發(fā)光燈閃跳。在 2級環(huán)境下，銅質(zhì)地的傳感器將能延用26個月；
銀質(zhì)地的傳感器將能延用40個月。安裝LWS實(shí)時監(jiān)控顯示器時，需要放置在特殊的盒子里，在合適安全的 視線高度內(nèi)固定好. 區(qū)域：選擇潔凈，干燥的無震動區(qū)域室溫保持在-10 和 75°C (14° and 167°F)之間并且相對濕度在無凝固狀態(tài)下的10% 和
95%之間 萊特浩斯感應(yīng)監(jiān)測器能通過T掌上手持式電腦或筆記本電腦直接讀取輸出，，或解決遇到的疑難問題。運(yùn)用某一調(diào)制解
調(diào)器發(fā)送信號的軟件，諸如終端T或在線T， 設(shè)定9600波特率。將數(shù)字式232RS 數(shù)據(jù)線插入萊特浩斯感應(yīng)監(jiān)測器上的RS-232
端口可獲取累積或增， 數(shù)據(jù)線由萊特浩斯提供以連接到筆記本電腦或手持式掌上電腦上。 |
|
| RS－232 以一埃的測量波長度輸出數(shù)據(jù) | 記錄 | 銅 積累/增加 | 銀 積累/增加 | 0000,
0001, | 0002,
0002, | 0002,
0002, | 0004,
0004, | 0004,
0004, |
| 運(yùn)作 | 相關(guān)參數(shù) | 小輸出值: 4 mA
輸出值: 20 mA
反復(fù)性: ± 0.5-1% of full span | 尺寸(長×寬×高): 3.25 x 4.24 x 1.37 英寸
重量t: 0.3 磅 (150 公斤)
外殼:黑色塑膠材質(zhì) |
| | 電伏指數(shù) | 電源共計: | 18 － 30伏, 非常規(guī) | 輸出信號l: | 2個 4-20 毫安的直流電通道， 2根電源線 | 日常耗電量: | <50毫安 | 模擬輸出間隔: | 通過電流間隔為 60 秒 | 數(shù)字輸出間隔: | 15秒, RS-232 輸出端口 | 紅色閃燈: | 表示傳感器出現(xiàn)故障 | 綠色燈快閃: | * 2 小時 – 表示傳感器在初始化階段 | 綠色燈慢閃: | ** 24小時 – 表示加強(qiáng)數(shù)據(jù)收集 | 綠色燈不閃動: | 表示設(shè)備處于常規(guī)操作階段 | * 表示每2秒鐘一閃
**表示每4秒鐘一閃 |
Cumulative Corrosion Span
Incremental Corrosion Span
|
|
|
