- 產(chǎn)品品牌：
- 日立
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- SU70
- 類型：
- 光學(xué)顯微鏡
日立熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU70的介紹
采用成熟的超高分辨率半內(nèi)透鏡技術(shù)和熱場(chǎng)發(fā)射電子槍，為探索納米世界打開了一扇新的大門。為了滿足在同一臺(tái)儀器上進(jìn)行綜合分析(需要大探針電流)和超高分辨率觀察的需求，日立開發(fā)了SU-70。
日立熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU70的特點(diǎn)
1.100nA的大探針電流
新開發(fā)的肖特基電子槍保證100nA的大探針電流
2.通用的分析型樣品室
預(yù)留了多種接口，可以安裝以下附件進(jìn)行
分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低
溫臺(tái)，樣品室CCD
3.分析模式(FF模式)
觀察磁性樣品及EBSP、WDS分析
4.超高分辨率1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(減速模式)，超高分辨率的獲得利用了日立
已被檢驗(yàn)的半內(nèi)透鏡技術(shù)。
5.超級(jí)ExB技術(shù)用于控制SE/BSE信號(hào)檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)消除放電現(xiàn)象及信號(hào)混合
6.電子束減速技術(shù)保證了超低電壓的高分辨成像，用于淺表面觀察
日立熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU70的技術(shù)規(guī)格
二次電子圖象分辨率
1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
1.6nm(1KV.WD=1.5mm,減速模式)
2.5nm(1KV.WD=1.5mm)
放大倍數(shù)
1.低放大倍數(shù)模式20-2,000x
2.高放大倍數(shù)模式100-800,000x
電子光學(xué)
1.電子槍 ZrO/W肖特基電子槍
2.電流 1pA-100nA
3.加速電壓0.5-30KV(標(biāo)準(zhǔn)模式)
4.著陸電壓0.1-2.0KV(減速模式)
5.透鏡系統(tǒng)3級(jí)電磁線圈系統(tǒng)
6.物鏡光闌4孔光闌,真空外選擇和細(xì)調(diào)
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)控制5軸馬達(dá)控制
移動(dòng)范圍
X 0-110mm
Y 0-110mm
z 1.5-40mm
T -5O-+700
R 360O
樣品尺寸直徑150mm(標(biāo)準(zhǔn))
() 直徑200mm(可選)
探測(cè)器
1.二次電子探測(cè)器
2.背散射電子探測(cè)器(可選)
3.STEM探測(cè)器(可選)
4.法拉第杯(可選)
5.X射線能譜儀(可選)
6.X射線波譜儀(可選)
7.EBSP探測(cè)器(可選)
8.陰極熒光探測(cè)器(可選)
