- 企業類型：貿易商
- 新舊程度：全新
- 原產地：中國
準分子紫外光清洗機
□ 自主知識產權，國際前沿光子處理技術；
□ 國際上玻璃清洗制程的主流技術；
□ 高效快速清洗；
□ 低溫大面積加工過程；
□ 瞬間開啟和熄滅，節省工藝時間；
□ 安裝角度靈活方便，操作使用簡單；
□ 電光轉化效率高，無廢舊回收問題，節能環保；
□ 工件可在大氣中進行清洗，便于生產線作業；
□ 可徹底清除物體表面的碳和有機污染物；
□ 干式清洗，無溶劑揮發及廢棄溶劑的處理問題；
□ 保證產品的高可靠性和高成品率；
□ 產品表面清洗處理的均勻度一致。
應用領域：
主要在液晶顯示器件、半導體硅晶片、集成電路、高印制電路板、光學器件、石英晶體、密封技術、帶氧化膜的金屬材料等生產過程中采用光清洗方法為合適。
主要材料：ITO玻璃、光學玻璃、鉻板、掩膜板、拋光石英晶體、硅晶片和帶有氧化膜的金屬等進行精密清洗處理。
可以去除的污垢：有機性污垢、人體皮脂、化妝品油脂、樹脂添加劑及聚酰亞胺、石蠟、松香、潤滑油、殘余的光刻膠等。
技術參數：
項目 EWC70翻蓋型（Desktop Style）
適用工件尺寸 4-12inches
光源配置 1x172nm
輸出波長 172 nm
單燈光強 40mW/cm2
光照均勻度 ±3% （工件旋轉時）
光照時間設定 定時器，0-60 min
額定功率 70W
功率可變范圍 0-100%
燈啟動時間 <1 s
真空反應腔 SUS304不銹鋼
觀察視窗 KF50視鏡（可選）
工件臺 可調高度，靜止/旋轉（可選）
工件裝載方式 打開翻蓋，露出工件臺，裝卸工件
進出氣口 標配2個，KF15法蘭接口
真空系統配置 機械泵（可選）
真空計（10-1Pa）及接口 KF15法蘭接口
臭氧中和器和排氣系統 可選
供電電源 230V/50Hz
“ON”指示器 有
外觀尺寸(長x寬x高) 500x500x400mm
深圳市互恒科技有限公司
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