產品品牌：

德國蔡司（ZEISSE）

產品型號：

EVO

類型：

電子顯微鏡

EVO® MA & LS系列基本規格
 
分辨率
 3.0 nm(2nm) @ 30 kV SE和W（LaB6）
4.5 nm      @ 30 kV BSD（VP模式）
15nm       @ 30 kV 1nA, LaB6
20nm(15nm) @   1kV SE和W（LaB6）
10nm       @   3kV SE
 
加速電壓
 0.2 - 30 kV 
 
放大倍數
 ﹤7 - 1,000,000 x / ﹤5 - 1,000,000 x 
 
X射線參數
 工作距離8.5 mm / 出射角35° 
 
OptiBeam®模式
 分辨率（Resolution）、景深（Depth）、分析（Analysis）、大視野（Field）、魚眼（Fisheye）
 
壓力范圍
 10 - 400 Pa（MA系列）
10 - 3000 Pa（LS系列）
 可以使用的探測器
 BSD －背散射電子探測器,多象限二極管
ETSE－Everhart-Thornley 二次電子探測器
VPSE－可變壓力二次電子探測器
SCD －樣品電流探測器 
EPSE－延伸可變壓力二次電子探測器 

圖象處理
 7種積分和平均模式  

系統控制
 基于Windows® XP的SmartSEM™ SmartPI™軟件

完整的顆粒分析方案
SmartPITM軟件的設計用于常規樣品大量的重復的分析，它可以自動地產生，分析及包含微粒大小、形狀和化學組成等數據的。
在一個生成模式界面的引導，即使是一個不熟練的操作者也可以安裝樣品并選擇一個事先設定的程序來進行分析和提供。
然后，SmartPITM軟件在自動分析所有要求測試的樣品之前，完成統一的標準和設置 ，并將結果生成一個統一規格的。 

操作模式

Ÿ           自動設置SEM和X射線工作條件
Ÿ           可按操作界面的向導輸入樣品信息并選擇分析程序
Ÿ           此后SmartPI™程序將自動測量、分類并記錄每個顆粒的尺寸、形狀和化學組分，并生成顆粒

配置模式
簡便易用的使用軟件，可供用戶靈活地設置顆粒掃描：
Ÿ           SEM的設置與校準
Ÿ           樣品夾具與掃描程序

Ÿ           圖像處理與分析
Ÿ           EDS選擇與控制
Ÿ           自動停止
模式
Ÿ           量身定制的數據
Ÿ           可追溯的數據處理

Ÿ           特殊調查時的單幀互動式分析