| 型號 | C9106/8 | C9166/8 | C9206/8 | |
| 測量范圍 | ×軸 | 905mm(36") | 905mm(36") | 905mm(80") |
| Y軸 | 1005mm(16") | 1605mm(22") | 2005mm(36") | |
| Z軸 | 605mm (24") 805mm(32") | 605mm (24") 805mm(32") | 605mm (24") 805mm(32") | |
| 分辨率 | 0.0001mm(0.1μm) | |||
| 導向方式 | 各坐標軸上的空氣軸承 | |||
| 測量 | E=(1.9+3L/1000)UM當使用TP200時 E=(1.9+3L/1000)UM當使用TP200時 R=1.9μm(當使用TP200時) R=1.7μm(當使用TP200時) | |||
| 球桿性能＝9μm(.00036") 重復＝3μm(.00012") | ||||
| 驅動速度 | CNC模式 | 8-300mm,合成速度520mm/s | ||
| 操縱桿模式 | 0-80mm/s(模式) 0-3mm/s(低速模式) 0.05mm/s(微進給模式) | |||
| 測量速度 | 8mm/s(3mm/s當Z＝805時) | |||
| 測量加速度 | 各軸加速度0.13G 合成加速度0.23G | |||
| 工件 | 高度 | 800mm(31.5"):Z=605mm 1000mm(39.3"):Z=805mm | ||
| 重量 | 11200kg(2640 ibs.) | 1500kg(3300 ibs.) | 1800kg(3960 ibs.) | |
| 質量 | Z=605mm | 2231kg(4908 ibs.) | 2868kg(2309 ibs.) | 3912kg(8606 ibs.) |
| Z=805mm | 2261kg(4974 ibs.) | 2898kg(6375 ibs.) | 3482kg(7682 ibs.) | |
| 氣壓 | 0.4MPa | |||
| 空氣消耗量 | 60升/分(在正常條件下1或1.8CFM) |
| 溫度范圍 | 16至26℃ | |
| 溫度漂移 | 每小時 | 2.0k |
| 每24小時 | 5.0k | |
| 溫度梯度 | 垂直方向 | 1.0k/m |
| 水平方向 | 1.0k/m |
