技術指標
流量范圍:滿量程從40SCCM 到10SLPM(N2@70℉&5PSIG)
響應時間:3~4秒
和線性:&plun;2%滿量程
重復性:&plun;0.2%滿量程
量程比:50:1(2%-100%滿量程)
工作溫度:-10~70℃(14-158℉)
溫度漂移:&plun;0.1%/℃
壓力漂移:&plun;0.1%/ATM(相對于N2)
設定點輸入/流量信號輸出:0-5Vdc(流量信號輸出的小負載電阻2K
Ω)
供應電源:&plun;12(&plun;5%)或+15(&plun;10%)VDC(電流消耗﹤250mAdc)
安裝方向:對位置不敏感
預熱時間:10分鐘
電氣連接:D 型(9針)
過程連接:1/8″NPT 內螺紋
結構材質
主體:鋁
閥帽:鋁
孔:黃銅
閥組件(接液):不銹鋼
Kalrez@and Viton®are registered trademarks of DuPont Dow Elastomers
L.L.C
密封材質(O 型環和閥座):Buna N.EPDM,Kalrez®,
Neoprene 或Viton®
過程連接:鍍鎳銅(入口)和鋁(出口)
訂貨信息
訂貨時,請提供:
流量范圍
氣體類型
工作溫度
入口壓力
出口壓力
標定的標準溫度(如:0℃,20℃,21.1℃或25℃)
密封材質
附加選項(如:街頭,連接電纜,等)







