機器尺寸 800X650X520mm（L X W X H）。
伺服平臺平臺尺寸：400mmx300 mm，XY移動行程：350X270mm，可定做更大行程的工作平臺。
測量光源：精密紅色激光線，照明光源：環型白色LED照明，測量模式：可編程多處自動掃描測量。視場：20X－100X 5檔可調。
高度測量 0.002mm.高度重復測量±0.002mm.
攝像機掃描頻率，60 Field/Sec.掃描范圍多處，任意大小，可編程。
3D 模式：3D 模擬圖，3D數據測量。
XY掃描間距 0.005mm-5mm 可任意設定電動。其他測量功能：2維測量，數據管理，其他元器件，線路，油墨高度等掃描測量。
操作系統 Windows，重量 55 KG.
程序編制功能方便多次重復掃描，大的SPC統計分析系統?！?
伺服平臺平臺尺寸：400mmx300 mm，XY移動行程：350X270mm，可定做更大行程的工作平臺。
測量光源：精密紅色激光線，照明光源：環型白色LED照明，測量模式：可編程多處自動掃描測量。視場：20X－100X 5檔可調。
高度測量 0.002mm.高度重復測量±0.002mm.
攝像機掃描頻率，60 Field/Sec.掃描范圍多處，任意大小，可編程。
3D 模式：3D 模擬圖，3D數據測量。
XY掃描間距 0.005mm-5mm 可任意設定電動。其他測量功能：2維測量，數據管理，其他元器件，線路，油墨高度等掃描測量。
操作系統 Windows，重量 55 KG.
程序編制功能方便多次重復掃描，大的SPC統計分析系統?！?
