Ø微區膜厚測量通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度膜厚測量的。
Ø多達5層的多鍍層測量使用薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。
Ø廣域觀察系統(選配)可從250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。
Ø對應大型印刷線路板(選配)可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。
Ø位與以往機型相比,既了功能性又降低20%以上的價格。
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