VARIAN 擴散泵大抽速、大抽氣量，輻射、氧化、快速循環(huán)。，高前級耐壓，高限真空度，返油量低，常的使用壽命。
應(yīng)用領(lǐng)域：
油擴散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、原子能、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。
特點：
※大抽速、大抽氣量
※輻射、氧化、快速循環(huán)。。
※高前級耐壓
※高限真空度
※返油量低
※常的使用壽命
應(yīng)用領(lǐng)域：
油擴散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、原子能、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。
特點：
※大抽速、大抽氣量
※輻射、氧化、快速循環(huán)。。
※高前級耐壓
※高限真空度
※返油量低
※常的使用壽命
其他說明
| 型號 | AX-65 | HS-6 | VHS-4 | VHS-6 | VHS-250 | VHS-10 | VHS-400 | HS-16 | HS-32 | NHS-35 |
| 抽速空氣 | 65 | 160 | 750 | 1550 | 2125 | 3650 | 4500 | 6000 | 17300 | 28000 |
|
前級耐壓Torr/mbar 沒有負載 有負載 |
0.75/1.0 0.6/0.78 |
0.55/0.72 0.4/0.52 |
0.65/0.86 0.55/0.72 |
0.65/0.85 0.55/0.72 |
0.65/0.85 0.55/0.72 |
0.65/0.85 0.55/0.72 |
0.65/0.82 0.55/0.72 |
0.65/0.82 0.55/0.72 |
0.50/0.65 0.35/0.45 |
0.55/0.71 0.40/0.52 |
| 推薦前級泵抽速m 3 /hr | 0.15/0.25 | 5.0/8.5 | 10/17 | 17/28.9 | 17/28.9 | 30/51 | 30/51 | 80/136 | 300/510 | 300/510 |
|
返油率mg/cm 2 /min 標準冷帶 |
2*10 -4 | 1*10 -3 | 5*10 -4 | 5*10 -4 | 5*10 -4 | 5*10 -4 | 1*10 -3 | 1*10 -3 | 7*10 -4 | 5*10 -4 |
| 啟動時間(min) | 7 | 15 | 10 | 10 | 15 | 15 | 30 | 45 | 60 | -- |
| 電源 |
1ph,50/60Hz, 90/115/165/220V |
1ph,50/60Hz, 120/240V |
1ph,50/60Hz, 120/208/240V |
3ph,50/60Hz, 120208/240V |
3ph,50/60Hz, 208/240/380/480V |
3ph,50/60Hz, 208/240/380/480V |
3ph,50/60Hz, 208/240/380/480V |
3ph,50/60Hz, 240/415/480V |
3ph,50/60Hz, 240/415/480V |
50/60Hz, 240/415/480V |
| 功率 | 200/250 | 450 | 1450 | 2200 | 2200 | 4400 | 4400 | 8100/9600 | 2400 | 2400 |
| 冷卻水l/hr,15-26°C | N/A | 0.1/20 | 0.15/30 | 0.25/50 | 0.25/50 | 0.4/80 | 0.4/80 | 1.5/300 | 4.0/800 | 4.0/800 |
