優勢

特點

• 快速響應——設置點之間的流量沉淀時間不到2秒

• 的性——一年漂移不到滿標度流量的0.5%

• 易于整合——標準連接器和尺寸

• 出色的效果——優質薄膜特性

• 彈性密封

• VCR^® , VCO^®, 及 Swagelok^® 共容的連接

• 滿標度流量范圍為10 sccm - 200 slm

• 常關或常開的電磁控制閥

• 的凈化模式流量——校準后多100次

• 泄漏率為1x10^-6 atm-cc/sec of He

   FC-7700系列產品專為那些要求頂性能，但不要求具有耐腐蝕性或漏率要求的應用而定制，不性價比好，而且控制高。

響應速度快

   FC-7700系列產品采用新技術設計，工作性能遠遠質量流量控制器MFC.其之處包括：采用了一種敏感、響應速度快的小直徑傳感器。另外，與采用低速熱敏閥的同類產品相比，FC-7700系列產品采用常開或常閉式電磁閥，具有較快的響應速度。響應速度之后，避免了出現過沖，設定點的時間不到2秒--在帶標準電磁閥的質量流量控制器產品中是快的。

的性

   由高質量的電子組件和采用耐用、少元器件的設計理念，這使它可以經受強射頻場的干擾，滿足其它運轉要求，并具有同類產品中的點漂移穩定性--使用過一年，點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產品中，有不到0.5%的產品在出貨一年內返修。

易于集成

    替換其它品牌，即可輕松獲得Area質量流量控制器所具有的性能和性方面的優勢，且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸，可輕松裝入現有的系統。

出從的效果

   FC-7700系列質量流量控制器帶給您的不是薄膜和刻蝕工藝的一致性，同時還有高度的可重復性。

類別

FC-7700、7700C、7700CD、7700CU

FC-7710、7710C、7710CD、7710CU

FC-7720、7720C、7720CD

滿量程范圍

10sccm到5slm

6到20slm

35到150slm

20到50slm

響應時間

到達設定點±2%所需時間<2秒

到達設定點±2%所需時間<3秒

滿量程±1%范圍內

滿量程±2%范圍內

線性度

滿量程±0.5%范圍內

滿量程±0.5%范圍內

滿量程±1%范圍內

滿量程±1%范圍內

重復

滿量程±0.2%范圍內

漏率

值1×10-6 atm-cc/秒(氦)

控制范圍

滿量程的5到100%

壓差

7至40 psi

10至40 psi(517至2069托)

21至40 psi(1086至2069托)

(362至2069托)

14至40 psi(724至2069托)

正常工作壓力

50 psi(2586托)

入口壓力

值150 psi(7740托)

溫度范圍

5至45℃