特點(diǎn)
l 自動(dòng)接觸檢查
l 常規(guī)測(cè)試和加強(qiáng)軟件
l 自動(dòng)電容補(bǔ)償
l 三終端FET電流瞬態(tài)測(cè)量
l 大電容和濃度范圍
l 靈高、模塊化硬件
l 支持各種冷卻倉和溫度控制器
l 傅里葉轉(zhuǎn)換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能
l DLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評(píng)價(jià)
操作模式
l C-DLTS(電容模式)
l CC-DLTS(定電容模式)
l I-DLTS（電流模式）
l DD-DLTS（雙關(guān)聯(lián)模式）
l Zerbst-DLTS
l O-DLTS（光激發(fā)模式）
l FET-Analysis
l MOS-Analysis
l ITS（等溫瞬態(tài)光譜儀）
l 缺陷分析
l 俘獲截面測(cè)量
l I/V, I/V(T) 查理森Plot分析
l C/V, C/V(T)
l TSC/TSCAP
l PITS（光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜）
l DLOS(系統(tǒng))
l 自動(dòng)接觸檢查
l 常規(guī)測(cè)試和加強(qiáng)軟件
l 自動(dòng)電容補(bǔ)償
l 三終端FET電流瞬態(tài)測(cè)量
l 大電容和濃度范圍
l 靈高、模塊化硬件
l 支持各種冷卻倉和溫度控制器
l 傅里葉轉(zhuǎn)換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能
l DLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評(píng)價(jià)
操作模式
l C-DLTS(電容模式)
l CC-DLTS(定電容模式)
l I-DLTS（電流模式）
l DD-DLTS（雙關(guān)聯(lián)模式）
l Zerbst-DLTS
l O-DLTS（光激發(fā)模式）
l FET-Analysis
l MOS-Analysis
l ITS（等溫瞬態(tài)光譜儀）
l 缺陷分析
l 俘獲截面測(cè)量
l I/V, I/V(T) 查理森Plot分析
l C/V, C/V(T)
l TSC/TSCAP
l PITS（光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜）
l DLOS(系統(tǒng))
