&sp; &sp; &sp; &sp;INFICON&sp;Bayard-Alpert&sp;Pirani&sp;復合真空計&sp;BPG402-S&sp;將&sp;Bayard-Alpert&sp;和&sp;Pirani&sp;兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為&sp;5&sp;X&sp;10&sp;-10&sp;mbar至大氣氣壓（3.8&sp;x&sp;10-10&sp;Torr&sp;至大氣氣壓)。&sp;多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。&sp;為負擔不重且可重復的過程選擇帶有雙氧化釔銥絲的&sp;BPG402-S，以經(jīng)濟的方式執(zhí)行基本壓力測量。&sp;傳感元件帶有板載校準數(shù)據(jù)，更換傳感器時的高再現(xiàn)性。

優(yōu)勢
.&sp;從&sp;5&sp;x&sp;10&sp;-10&sp;mbar&sp;至大氣氣壓（3.8&sp;x&sp;10&sp;-10&sp;Torr&sp;至大氣氣壓）的其寬泛的測量范圍

·&sp;10&sp;-8&sp;-&sp;10&sp;-2&sp;mbar&sp;過程壓力范圍內(nèi)&sp;5%&sp;的優(yōu)良的可重復性。

·&sp;Pirani&sp;聯(lián)鎖保護絲，過早燒毀

·&sp;雙長使用壽命氧化釔銥絲

·&sp;備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

·&sp;高真空Pirani&sp;自動調節(jié)，減少操作員的干預

·&sp;傳感元件帶有板載校準數(shù)據(jù)，易于更換，可高再現(xiàn)性

應用
. 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

·&sp;工業(yè)鍍膜

·&sp;低真空至真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

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