一、H2O2氣測儀傳感器選型
二．SiH4傳感器結構
三．模塊開發方案
模塊特色：
1. 選用的電化學傳感器，使用壽命長；
2. 選用高的運放和電源IC，性能穩定，靈敏；
3、可以檢測低濃度或高濃度的有毒氣體；
4、產品設計干擾能力強、量程保護、反性保護和雷保護；
5、產品設計低功耗，網絡RS485輸出；
6、模塊傳感器的安裝方式：泵吸式、擴散式、法蘭式、法蘭螺紋式；
主要參數指標：
檢測原理：電化學原理
安裝方式：擴散式、泵吸式、法蘭式、螺紋式
響應時間：30 S～40 S（傳感器的響應速度）
檢測：≤±3%FS（實際濃度，更高視具體傳感器而定）
重 復 性：≤±2%
性線誤差：≤±2%
點漂移：≤±2%（F.S/年）
工作溫度：－40～50℃
工作濕度：15-90%RH (無結露)
信號輸出：數字TTL信號輸出 、RS485輸出、4-20mA輸出
工作電壓：DC 12-36 V
五．傳感器應用
傳感器廣泛應用于微電子、光電子工業， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。
現在電子氣體的使用越來越多，半導體的生產、LED的生產、晶體加工、精密加工等行業帶來很多麻煩，這些毒氣的檢測都離不開SIH4.
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六．傳感器圖片
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