A. 技術參數

1. 分辨率： 15nm (30kV, SE Image)

         20nm (30kV, BSE Image)

1. 放大倍率：30x~60,000x (有效放大倍率30,000x)

2. 加速電壓 :

5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)

3. 圖像：

二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射電子圖像(BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

4. Observation mode : Standard Mode

Charge-up reduction mode

5. 電子槍系統:

燈絲類型：預對中鎢燈絲

偏壓系統：自動偏壓方式

   電子槍校正：手動方式

6. 透鏡構成

i. 聚光鏡 : 2段式磁線圈透鏡

ii. 物鏡 : 1段式磁線圈透鏡

7. 探測器類型

E-T Detector

8. 載物臺系統：3軸操控

- X, Y-axis : 20mm / R-axis : 360°

9. Image shift: X, Y Image Shift (100?)

10. 樣品尺寸 :

50mm in diameter, 20mm in height

11. 圖像掃描速度

1. 快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

2. 低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

3. 圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

4. 圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

12. 自動功能

自動啟動，自動聚焦，自動亮度對比度調節

13. 圖像存儲方式

   BMP, JPEG, PNG

14. 數據顯示

   放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，文本，標尺等

15. 真空系統

   全自動型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)

-（旋轉式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min

-（渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec

抽真空時間：2分鐘以內

16. 操控系統：鼠標和鍵盤

17. 運行系統：電鏡專用筆記本電腦

-OS : Microsoft Window 7

-CPU : Intel Core^TM i5 or High version

-Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version

18. 軟件：

-圖像文件打開，編輯，存儲功能

   -長度，面積，角度等測量功能

   -設置數值初始化，圖像拍攝模式轉換，Archives, Setting(EDS)模式等

19. 體積：

   設備主機-390(W)×640(D)×560(H)mm……1set

外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

20. 重量：90kg

21. 設備環境：

-溫度：15℃~30℃

-濕度：70% or less

-電源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz

B. 配件

1. 預對中鎢燈絲  : (5 pcs/box)

2. 載物臺 

i.  15mm dia. (10 pcs)

ii. 25mm dia. (10 pcs)

iii. 15mm 45° Tilt (5 pcs)

iv. 15mm 90° Tilt (5pcs)

3. 真空潤滑油  1ea

4. 高度基準模塊  1ea

5. 6角扳手  1set

6. 掃描電鏡軟件修復用CD  1ea

7. 銀膠(Silver Paste) 30g  1ea

8. 碳導電膠帶  1roll

9. 剪刀  1ea

10. 洗耳球 1ea

11. 鑷子  1ea

     12. 工具箱  1ea