MT-30A系列儀表式配氣儀概要
MT-30A系列采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量測量及控制。
可應用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
產品系列完整，可選擇數字式，模擬式，普通，高，高壓力型，性能且價格具有競爭力，應用領域廣泛。
MT-30A系列儀表式配氣儀特點
o 模擬式熱質式流量計/流量控制器：
- 低單價
- 環境溫度補正
- 可應用的流率范圍廣：
- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
o 高
±1%(≤15SLM)
±2%(＞15SLM.)
o 可選用LF系列控制模塊，具有數位顯示、電源供應、流量設定等功能
o 國際兼容
MT-30A系列儀表式配氣儀應用
o 工業設施的氣體供應監測/控制。
o 氣體分析設備。
o 固定氣體流量控制。
o 氣體混合或分離設備
MT-30A系列儀表式配氣儀標準 氣體質量流量用氮氣(N2)標定。
標準狀態規定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa
流量范圍是以mL/min，L/min 為單位
例：
5mL/min 表示為005
500mL/min表示為500
50 L/min(nor) 表示為50L
MT-30A系列儀表式配氣儀規格 (熱式)
功能 | 流量計/控制器 | |
基本型號 | MT-30A | |
滿量程流量范圍(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
SLM | 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
(％F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±2(＞15SLM.) | ||
控制閥動作型式 | 常閉式 | |
線性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) | |
±2％(＞15SLM.) | ||
重復(％F.S.) | ±0.2 | |
響應時間(sec) | ≤1 | |
流量輸出信號 | 0-+5.00V | |
流量設定信號 | 0-+5.00V | |
電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
工作環境溫度 | (℃) | 5～45 |
工作壓差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
******耐壓 | 3MPa | |
介質接觸材質 | 304，316，316L | |
密封材料 | 氟橡膠，硅橡膠，橡膠，聚四氟乙烯 | |
接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
接頭和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm | |
電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 0.75KG |
