- 產品品牌：
- MKS
- 產品型號：
- M100B
M100B
彈性密封質量流量控制器（通用型）
M100B是一種通用的彈性密封的質量流量控制器，可在生產，分析，工業以及測試等多種應用場合測量和控制有腐蝕性氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。對于當今市場上的質量流量控制器，M100B可作為直接替代的產品，標準的3英寸底座使M100B能夠直接進行安裝而無需改變現有的氣體管道。它具有模擬通訊模式，其為全量程的1%。 技術參數：全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM， 5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM，30000SCCM，50000SCCM（可選）控制量程：2% to 100%的全量程。測量：全量程的1%靈敏度：全量程的0.1%熱機時間：小于2Min.響應速度：小于2Sec.輸入電壓：±15VDC@100ma輸出電壓：0-5VDC連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge. 數字：RS485或Device net或Profibus法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等材質：316不銹鋼。質保期：有限保修自售出之日起18個月。 例：型號M100B00411CR1BV 校準氣體（SEMI氣體編號）* 采購序列號Helium, He 001Argon, Ar 004Hydrogen, H2 007Nitrogen, N2 013Oxygen, O2 015 校準流量SCCM（相當氮氣50000） 10 11C 20 21C 50 51C 100 12C 200 22C 500 52C 1000 13C 2000 23C 5000 53C 10000 14C 20000 24C 30000 34C 50000** 54C 裝配件（Y）（與以下兼容）SwagelokR4VCRR凸接頭 R 0.25英寸SwagelokR S SwagelokR4VCOR G 0.125英寸Swagelok*** P 6 mm SwagelokR M 閥門（1）常閉（控制器） 1 連接器（W） 15針D型接口 B 型號M100B（續） 密封（Z）****Buna N B NeopreneR N VitonR V 用于M100B的電纜線CB147-1-10用來將M100B 15針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647CB259-5-10用來將M100B 15針D型接口連接至246, 247
