- 產品品牌：
- 美國mks
- 產品型號：
- 1579
mks 1579_數字橡膠密封大流量質量流量控制器 量程范圍： 50, 100, 200, 300 slm 輸入壓力： 100 psig 工作壓差： 50, 100 slm 15 to 60 psid;200 slm 25 to 60 psid;300 slm 40 to 60 psid 控制范圍： 2 to 100% of F.S. 控制： ±1% of F.S. 可重復性： ± 0.2% of F.S. 溫度系數（零點）： < 0.05% of F.S. /°C 溫度系數（全程）： < 0.10% of F.S. /°C 熱機時間： < 30 min 控制設定時間： < 1 s typical 壓力系數： ± 0.02% of Rdg/psi 操作溫度： 15°C to 40°C (59°F to104°F) 設定輸入信號： 0 to 5 VDC from < 20 kΩ 輸出信號： 0 to 5 VDC into > 10 kΩ 模擬電氣接頭： 15-pin Type “D” male; Profi bus 2 x 9-pin Type “D” male (analog) and female (Profi bus) 本體材料： 316LS.S.T,Nickel,Viton®;BunaN,Neoprene®, Kalrez® 氦泄漏率： < 1 x 10-9 scc/sec He 管道接頭： 8 VCR® male;8 VCO® male, DN 16 KF;1/2” Swagelok®, 12 mm Swagelok®;4 VCR® male (for 50 slm only)
