一、 系統(tǒng)特點(diǎn)：
■ 非接觸測(cè)量，避免對(duì)被測(cè)樣品造成損傷。
■ 采用傳感器，測(cè)量數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性。
■ 采用采集卡數(shù)據(jù)采集的準(zhǔn)確及穩(wěn)定性。
■ 采用主機(jī)配以強(qiáng)大的控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行精準(zhǔn)計(jì)算和分析。
二、 技術(shù)指標(biāo)：
n 測(cè)量尺寸：
n 探頭X/Y軸定位分辨率：±2μm
n 探頭Z(垂直)軸定位分辨率：±0.2μm
n 被測(cè)基片厚度范圍：50μm～500μm
n 測(cè)量：0.5μm
n 測(cè)試分辨率：0.1μm
n 測(cè)試速度：1片/30S
三、 設(shè)備外形：
約：
四、 輸入源：
電源：AC 220V 50Hz 功率： <500W
真空：-100KPa
